유진테크를 대리하여 일본 기업과의 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 방어

법무법인(유) 광장 IP & Tech 그룹은 유진테크를 대리하여 일본 Kokusai Electric(코쿠사이)과의 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 관련 특허분쟁에서 코쿠사이 측의 특허를 성공적으로 무효화하였습니다. 

코쿠사이는 2024. 2. 유진테크를 상대로 서울중앙지방법원에 4건의 특허침해소소송을 제기하였습니다. 문제가 된 기술은 반도체 공정용 장비에 관한 것으로서, 코쿠사이는 공정 운용 방식이나 장비의 구성 등 다양한 분야의 특허를 기초로 침해소송을 제기하였습니다. 

광장 IP & Tech 그룹은 유진테크의 영업비밀을 보호하면서 동시에 비침해 주장을 통하여 침해소송에 대응하는 한편, 4건의 특허에 대해 무효심판을 제기하여 고쿠사이 특허의 무효화를 시도하였습니다. 

고쿠사이의 특허 중 노즐 배치와 관련한 특허에 대해 2024. 12. 특허심판원은 고쿠사이가 침해를 주장한 청구항은 모두 무효로 판단하였으며, 고쿠사이가 이에 대하여 심결취소소송을 제기하였으나 특허법원은 2026. 5. 특허심판원의 판단을 유지하는 판결을 내렸습니다.  또한, 반도체 공정 관련 특허에 대해 특허심판원이 유진테크의 무효심판청구를 기각하였으나, 고쿠사이가 특허청구범위를 정정하기 위하여 청구한 정정심판에서는 정정된 청구범위 기재 발명이 선행발명에 비해 진보성이 없다고 판단하여, 실질적으로 고쿠사이의 특허를 무력화함에 성공하였습니다. 

위와 같이 유진테크는 코쿠사이의 특허 4건 중 2건을 실질적으로 무력화하였고, 나머지 2건에 대해서도 효과적인 무효 주장을 펼침으로써 고쿠사이의 침해 주장에 성공적으로 대응하고 있습니다. 이로써 유진테크는 급격히 발전하는 반도체 산업에서 유망 장비기업으로서 시장에서 경쟁력과 영향력을 계속적으로 확대할 수 있게 되었습니다.